L1

18.5

22

L2

10.1

6.2

L3

8.1

4.2

测量杆的驱动
自由状态时测量杆位置

线缆或被测对象驱动
伸出

气动
缩回

测量基准

Zerodur玻璃陶瓷基体的DIADUR相位光栅；栅距4 μm

系统精度

± 0.2 μm

单信号周期位置误

≤± 0.2 μm

参考点

上止点下方约1.7 mm处

测量范围

12 mm

25 mm

12 mm

25 mm

测量力

参见测量力—测量杆驱动

“无弹簧”版
垂直向下

0.13 N1)

0.17 N1)

–

压缩空气

–

≤ 1.4 bar

径向力

≤0.8 N（机械允许）

固定

装夹杆φ8h6

工作姿态

任意；对于无弹簧版：垂直向下

振动 55 Hz至2 000 Hz
冲击 11 ms

≤100 m/s2 (EN 60 068-2-6)
≤1 000 m/s2 (EN 60 068-2-27)

工作温度

10 °C至40 °C；标准温度20 °C

防护等级EN 60 529

IP 50

IP 64（有密封空气）

重量不带电缆

100 g

180 g

110 g

190 g

电气参数

MT 1271
MT 2571

MT 128x
MT 258x

接口

卐TTL

~ 1 VPP

内部细分倍数*

5倍

10倍

–

信号周期

0.4 μm

0.2 μm

2 μm

机械允许运动速度

≤30 m/min

边沿间距a，
扫描频率*/运动速度时
200 kHz≤24 m/min
100 kHz≤12 m/min
50 kHz≤6 m/min
25 kHz≤3 m/min

≥ 0.23 μs
≥ 0.48 μs
≥ 0.98 μs
–

–
≥0.23 μs
≥0.48 μs
≥0.98 μs

–

电气连接*
（接口电子设备在接头中）

电缆长度1.5 m带D-sub接头（针式）,15针

电缆长度1.5 m带
• D-sub接头（针式），15针
• M23接头（针式），12针

电缆长度

≤30 m海德汉电缆

电源

5 V DC ± 0.5 V/< 160>

5 V DC ± 0.25 V/< 130>